潔凈工程車間怎樣控制污染

　　在顯示器生產(chǎn)中，潔凈工程車間環(huán)境污染控制的好壞決定了顯示器生產(chǎn)效率的高低。顯示器的整個生產(chǎn)過程都必須在受控環(huán)境要求中進行，中山科瓦特凈化工程公司告訴大家：大部分的顯示器都在10萬級潔凈工程車間中生產(chǎn)。隨著高科技的發(fā)展需求，有些顯示器必須在高精度的潔凈工程環(huán)境下生產(chǎn)。?其污染控制難度的相應變大，需采用適合的分析產(chǎn)率和塵粒產(chǎn)生的方法。廠家并不總是分析塵粒的組成，他們往往通過查看玻璃面板的生產(chǎn)過程來查找、分析塵粒產(chǎn)生的根本原因。

　　進入潔凈工程車間的人員必須要穿潔凈服，別外每周要進行清洗，包裝前需測試塵粒度，然后才能投入使用。所用的消耗品，包括抹布、拖把、過濾器等在進車間前需滅菌并雙層包裝。潔凈工程車間的工作人員每六個月需經(jīng)再次培訓以加強工作技能。

　　為了更好地控制污染，在潔凈車間，需定期監(jiān)控，保證環(huán)境的潔凈度和工具的運轉(zhuǎn)正常。系統(tǒng)性清潔衛(wèi)生和定期檢修可以幫助降低潔凈車間的塵粒度。在潔凈車間 地監(jiān)控在線塵粒的方法就是使用一塊作證的面板，這塊面板是一塊帶金屬層的玻璃襯底。將這塊面板放在潔凈車間的內(nèi)移動，可以監(jiān)控不同區(qū)域的塵粒。如果塵粒大量增多，就需進行分析，解決問題。

　　污染物可能對工藝過程和器件產(chǎn)生下列影響：器件工藝良品率。在一個污染環(huán)境中制成的器件會引起多種問題。污染會改變器件的尺寸，改變表面的潔凈度，并且/或者造成有凹痕的表面。在晶片生產(chǎn)的過程中，有一系列的質(zhì)量檢驗和檢測，他們是為檢測出被污染的晶片而特殊設計的。高度的污染使得僅有少量的晶片能夠完成全工藝過程，從而導致成本升高。

　　器件性能。一個更為嚴重的問題是在工藝過程中漏檢的小的污染。晶片看起來是干凈的，但其中未能檢測出來的顆粒、不需要的化學物質(zhì)和高濃度的可移動離子污染物，可能會改變器件的電性能。這個問題通常是在芯片切割時的電測試中顯現(xiàn)出來。

　　器件可靠性。最令人擔心的莫過于污染對器件可靠性的失效影響。小劑量的污染物可能會在工藝過程中進入晶片，而未被通常的器件測試檢驗出來。然而，這些污染物會在器件內(nèi)部移動，最終停留在電性敏感區(qū)域，從而引起器件失效，因此潔凈工程行業(yè)的環(huán)境要求與發(fā)展會逐漸成為高科技行業(yè)關注的目標，

　　隨著顯示器行業(yè)和市場的發(fā)展，對顯示器品質(zhì)的要求也越來越高。品質(zhì)控制工具逐漸成為廠家管理生產(chǎn)的方法。同時，顯示器行業(yè)的標準化也是未來發(fā)展的一個趨勢，這無疑把潔凈工程建設推向了一個更高的平臺。